Chroma ATE Inc.

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Chroma ATE ha affidato a Innovative Nanotech Inc. il trasferimento tecnologico dall’ITRI per far progredire il controllo del processo front-end dei semiconduttori
2017/11/24

Innovative Nanotech Inc., investita del compito dalla Chroma ATE Inc., ha firmato un contratto con l’Istituto di Ricerca Tecnologica Industriale (ITRI) il 24 novembre per il trasferimento della "Tecnologia di monitoraggio delle nanoparticelle". L’ITRI diventerà, inoltre, un importante azionista della Innovative Nanotech. Poco tempo fa la Innovative Nanotech ha stipulato un contratto con il Parco della Scienza Hsinchu per sviluppare e creare dei sistemi di monitoraggio delle nanoparticelle in liquidi, utilizzati nel processo di produzione di semiconduttori al fine di migliorarne il tasso di rendimento.

ITRI
Figura: l’Amministratore Delegato Leo Huang della Chroma ATE Inc. (a destra) ha firmato un contratto con l'Istituto di Ricerca Tecnologica Industriale (ITRI) il 24 novembre per il trasferimento della “Tecnologia di monitoraggio delle nanoparticelle” alla nuova startup della Chroma, Innovative Nanotech Inc.

Una grande quantità di soluzioni liquide sono spesso utilizzate per pulire, levigare e incidere la superficie del wafer durante il processo di produzione dei semiconduttori e la presenza di impurità in queste soluzioni influenza negativamente il tasso di difettosità. Le attuali tecnologie di light scattering per la misurazione di particelle non possono rilevare in modo preciso le dimensioni e la quantità delle particelle in soluzione al di sotto dei 20nm, il che crea difficoltà nel controllo del processo di produzione. Rimpicciolendo i transistor da 20nm a 10nm o addirittura a 7nm, inoltre, si restringe anche l’ampiezza del passaggio della corrente. A causa di questo restringimento, il tasso di difettosità del prodotto risente della presenza di eventuali impurità in soluzione, quali le nanoparticelle.

Innovative Nanotech introdurrà ai produttori di semiconduttori un sistema di monitoraggio delle nanoparticelle di nuova generazione, il SuperSizer, che rivelerà accuratamente la dimensione e la quantità delle particelle al di sopra dei 5nm. Questo permetterà ai produttori di adottare le misure necessarie per migliorare il processo a seconda dei risultati monitorati. Oltre al processo di produzione dei semiconduttori, questa tecnologia è applicabile anche al settore dell’elettronica, dell’optoelettronica e dei materiali biomedici.

Innovative Nanotech si espanderà sul mercato globale grazie ai canali di vendita e marketing del gruppo Chroma. Chroma ATE Inc. è un fornitore leader al mondo dei Sistemi Automatici di Test, degli Intelligent Manufacturing System e soluzioni pronte all'uso di automazione e per test, ed ha un gran numero di linee di prodotti per la misurazione di precisione back-end nel settore del controllo dei semiconduttori. Innovative Nanotech diventerà il fornitore Chroma di soluzioni per testare i processi front-end dei semiconduttori, in modo da soddisfare i requisiti di test dell’intero processo di produzione dei semiconduttori.